新華網成都3月23日（記者/李華梁）中国科学院光エレクトロニクス研究所のマイクロエレクトロニクス専用設備開発グループが紫外線ナノインプリントステッパーを自主開発した。同研究所が２３日明らかにした。ステッパーは半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置。
（新華社より）
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中国の科学者、新型ステッパーを自主開発
新華網成都3月23日（記者/李華梁）中国科学院光エレクトロニクス研究所のマイクロエレクトロニクス専用設備開発グループが紫外線ナノインプリントステッパーを自主開発した。同研究所が２３日明らかにした。ステッパーは半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置。
（新華社より）
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